全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀

JL-142W(D)型是一款液晶觸摸

彩屏顯示的全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀。主

要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設(shè)備內(nèi)

芯的制造借鑒*技術(shù)，整機(jī)設(shè)

置合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高，

反應(yīng)快，開機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)。檢漏效

果達(dá)到*水平。

主要技術(shù)指標(biāo)

1、真空模式小可檢漏率：5×10 -13Pa•m3 /s（5×10 -12mbal/s）

真空模式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -13Pa•m3 /s

2、吸槍模式小可檢漏率：5×10 -9Pa•m3 /s（5×10 -8mbal/s）

吸槍模式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -10Pa•m3 /s

3、啟動(dòng)時(shí)間：≤3min

4、響應(yīng)時(shí)間：≤0.5s

5、檢漏口的壓力：1500Pa

6、電源要求：220v，50Hz，單相，10A

7、工作環(huán)境：5-35℃

9、相對濕度：≤80%

9、外形尺寸：500（W）×400（D）×380（H）

10、重量：W 型 42kg，D 型 22kg

主要配置

1、德國普發(fā)檢漏儀分子泵（*）

2、W 為油式機(jī)械泵，D 為干式機(jī)械泵

3、定制檢漏儀電磁閥

4、閥體

5、原裝晶圓放大器

6、采用質(zhì)譜模塊

7、液晶觸摸彩屏

8、雙燈絲（氧化釔金絲），自動(dòng)調(diào)氦峰，自動(dòng)切換